10601 MEMS技術を用いた表面温度計の開発(流体測定技術の新展開(1),OS.12 流体測定技術の新展開)
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概要
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The behavior of rewetting on high superheated surface, focusing on rewetting temperature during collapse of saturated film boiling was investigated experimentally. In this report, a surface temperature sensor was developed by using technology of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). A special temperature sensor, i.e., a thin film type thermocouple, was fabricated by using MEMS technology, such as photolithography, sputtering and etching. The special temperature sensor was able to measure instantaneous and local temperature on a surface of mini-channel in loop type micro heat pipe.
- 2009-03-05
著者
-
大竹 浩靖
工学院大
-
小泉 安郎
信州大
-
大竹 浩靖
工学院大学 工学部機械工学科
-
小泉 安郎
信州大学
-
佐藤 隆登
工学院大学大学院 工学研究科機械工学専攻
-
櫻井 久
工学院大学大学院 工学研究科機械工学専攻
-
佐藤 隆登
工学院大院
-
小林 真悟
工学院大院
-
永嶌 望
工学院大
-
櫻井 久
工学院大院
-
小泉 安郎
工学院大学 工学部
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