積層MEMSデバイスのためのマニピュレータを用いたウェーハへの微小部品実装技術(<特集>次世代電子機器における先端実装技術と環境調和型実装技術論文)

概要

論文の詳細を見る
日常の健康管理による疾病の予防・早期発見を行うために,ウェラブルサイズまで小型化された体内外環境モニタリングシステムが求められている.この小型化された体内外環境モニタリングシステムを実現するための課題の一つとして,1mm程度以下の微小部品を高精度に実装する技術が挙げられる.そこで本研究では,マニピュレータと局所接合手段を用いた実装装置及び実装工法を開発した.その特徴は次の(1),(2)のとおりである.(1)微小部品側面が把持可能なマニピュレータを採用しているためVICEL,LD,LEDといった上部表面がデリケートな発光素子のハンドリングに有効である.(2)レーザによるはんだ接合あるいはUV光による接着接合が可能であり,微小部品の接合方法に合わせて切換が可能である.本論文では,この新規に開発した実装装置を用いて微小光学部品の接着接合を行い,±1μm以下の実装精度が得られることを実証したので報告する.今回我々が開発した実装装置及び実装工法は,MEMSモジュールなどへの応用が期待できる.
2009-11-01