MATLABによる位相シフト干渉法の研究
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概要
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A computer simulation with MATLAB is presented with respect to the phase-shifting interferometry to reveal the effect of surface roughness of object. To do this, the model of the surface of objects is used, and their roughness is evaluated numerically. It is shown that the phase distribution of surface is measurable by means of the phase- shifting interferometry for the surface roughness less than the standard deviation of approximately π/5. It is also revealed that the optimum filtering is required to perform successfully the phase unwrapping which is unavoidable for the phase-shifting interferometry.
- 北海学園大学の論文
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