微量ガス分析と標準ガス
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概要
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近年SI単位に基づいたトレーサブルな標準ガスによる機器の校正が必要となりつつあるが,標準ガス濃度の不確かさを小さくするには高感度分析法が必要である.また,半導体技術の向上に伴い,原料ガスやパージガス中の水などの不純物の測定が重要となっている.本稿では,最初に高感度分析法により標準ガスの精度が向上する理由について述べ,次に標準ガスの調製に用いられる高純度ガス中の不純物を高感度に測定する手法・研究について詳説した.それらの分析法について実際の検出下限の比較を行うとともに,幾つかの手法についてはその原理や検出下限についての定量的な取り扱いを述べる.また,主に窒素・酸素京アンモニア中の不純物測定についてまとめた.不純物成分としては,メタン・二酸化炭素・一酸化炭素・アルゴン・酸素・窒素・水などを取り上げ,各マトリックスガス中でのそれら不純物成分の検出下限について述べる.
- 2008-09-05
著者
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