5. 軟X線レーザー励起による固体の発光計測(<小特集>プラズマ軟X線レーザー利用研究の最前線)
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概要
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レーザープラズマ軟X線レーザーは,パルス幅が数ps(10^<-12>秒)程度と短く高輝度であることから,時間分解発光計測などの励起光源として有用である.ここでは,波長13.9nmの軟X線レーザーを用いてZnOの紫外発光計測を行い,次世代リソグラフィー分野で使用するEUVシンチレーターとしての評価を行った結果を紹介する.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2008-07-25
著者
-
田中 桃子
日本原子力研究開発機構光量子科学研究センター
-
猿倉 信彦
大阪大学 レーザーエネルギー学研究センター
-
古川 裕介
大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
-
田中 桃子
原子力研究開発機構関西光科学研究所
-
田中 桃子
日本原子力研究開発機構 光量子ビーム利用研究ユニット
-
田中 桃子
日本原子力研究開発機構 関西光科学研究所・量子ビーム応用研究部門・光医療研究連携センター
-
田中 桃子
日本原子力研究開発機構 量子ビーム応用研究部門
-
猿倉 信彦
大阪大学
-
田中 桃子
日本原子力研究開発機構 関西光科学研究所
-
田中 桃子
日本原子力研究所関西研究所光量子科学研究センター
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