243 免震半導体工場の総合的アクティブ微振動制御 : スマート構造による内生微振動の制御-その2
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概要
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Comprehensive active microvibration control system will be required in base-isolated precision manufacturing facilities, in order to control both microvibrations generated by equipment and persons in the buildings and excited by external disturbances such as ambient ground vibrations and winds. A smart structure using piezoelectric actuators was tested for the overall active microvibration control in a base-isolated 2-story steel frame building model of a 5×3×4H m external size and a 6,900 kg total mass which was supported by 4 multistage rubber bearings. The tests showed that the smart structure could effectively control three-dimensional microvibrations generated in the building model.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2003-09-16
著者
-
小川 智浩
住友重機械工業(株)技術開発センター
-
吉岡 宏和
竹中工務店
-
吉岡 宏和
(株)竹中工務店技術研究所
-
藤田 隆史
東大生研
-
嶋崎 守
東大学生産技術研究所
-
橋本 嘉之
(株)竹中工務店技術研究所
-
吉岡 宏和
竹中工務店 竹中技研
-
北原 隆
(株)日立プラントテクノロジー松戸研究所
-
橋本 嘉之
竹中工務店技術研究所
-
北原 隆
日立プラント建設
-
嶋崎 守
東大生研
-
藤川 正行
住友重機
-
橋本 嘉之
竹中工務店 竹中技研
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