光ファイバを用いた高感度CRD測定技術の開発
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概要
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半導体の製造に使用する高純度材料には水分のような不純物のオンライン品質管理が必要とされている。現在、CRD(キャビティリングダウン)法はオンライン高感度分析の一つである。しかし、従来のCRD法では温度や振動といった周囲環境の影響を受けやすいためシステムが不安定となる。本論では新規にファイバループ型の光ファイバCRDシステムを開発した。本システムでは微量サンプルの分析を可能にしたが、サンプルセルにおける光損失が生じたため高感度分析に必要なRDP(リングダウンパルス)を得ることはできなかった。そこでファイバループ中にEDFAを組み込むことで、サンプルセルにおける光損失を補償した。ただし、検知対象物質によっては、測定感度は未だ不十分であると考えている。現在、低損失セルの開発を進めているが十分な結果は得ていない。今後は測定感度を向上させる取組みを行う予定である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-01-17
著者
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高木 正和
タツタ電線株式会社
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高木 正和
タツタ電線株式会社フォトエレクトロニクスプロジェクト室
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高木 正和
タツタ電線
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松浦 正憲
タツタ電線株式会社フォトエレクトロニクスプロジェクト室
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逸崎 重徳
タツタ電線株式会社フォトエレクトロニクスプロジェクト室
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