レーザーを用いた新しいDLCコーティング法
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概要
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レーザー学会学術講演会第26回年次大会発表（2006年2月, 大宮） , 本文データの一部はCiNiiから複製したものである。Diamond like carbon (DLC) film has the feature which is excellent in high hardness and low friction. Adhesion strength of DLC film to a substrate, however, is not so strong, because the misfit of the lattice constant between the substrate and the film. In this reason, an application of DLC film is frequently limited. In this research, we developed the method of improving adhesion by forming the buffer layer between a substrate and a DLC film to relieve the misfit. By devising the target used for pulsed laser deposition (PLD) method, we achieved a formation of DLC film having a high adhesion strength on Si substrate.
- 近畿大学の論文
- 2006-09-30
著者
-
橋新 裕一
近畿大学理工学部電気工学科
-
中山 斌義
近畿大学理工学部電気電子工学科
-
中山 斌義
近畿大学大学院総合理工学研究科
-
橋新 裕一
近畿大学理工学部
-
橋新 裕一
近畿大学理工学部電気電子工学科
-
中山 斌義
近畿大学・理工
-
北川 正憲
近畿大学大学院 総合理工学研究科
-
溝口 佳宏
近畿大学大学院 総合理工学研究科
-
中山 斌義
近畿大学理工学部
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