4.3 ナノテクノロジーへの応用(4. 多価イオンの応用,<小特集>多価イオン原子過程の基礎と拡がる応用研究)
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概要
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多価イオンと表面との相互作用に関する特徴を簡単に述べた後,ナノテクノロジーへの応用に関連のある話題として,多価イオンの照射あるいは複合プロセスにより,ナノメートルオーダーの構造(ナノ構造)を表面に生成する研究,多価イオンをナノメートルサイズのビームに「加工」する技術や半導体プロセスにおけるイオン注入をイオン1個単位で行う「単一イオン注入」,多価イオン衝突による2次電子や2次イオン放出を表面の分析に応用する研究について概観する.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2007-08-25
著者
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