DLTS測定システムの構築とその有機TFT評価への応用(発光・表示記録用有機材料及びデバイス・一般)
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概要
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有機TFTの高性能化を実現する為、評価系の確立を目指す。本研究では半導体中のトラップに着目し、DLTS(Deep Level Transient Spectroscopy)法を用いたシステムを作製した。そのシステムの動作原理と、実際にそれを用いて行ったTFTのトラップ導出について記す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-02-26
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