2705 広領域・3次元レーザ微細加工装置の開発と加工性能評価(S66-2 卒業研究コンテスト(2),S66 卒業研究コンテスト)
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概要
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We have developed a fine laser processing equipment with high accuracy positioning as well as wide process area. Galvanometer scanners and scanning lens made it possible to move the laser spots faster than the mechanical stage do. This scanning lens has a distortion effect that can't be removed by adjustments of lenses. Thus we calibrated the scanning paths with the least square method. The calibration was done for very short time with an aid of image processing technique we developed since the origin of the galvanometer scanner shifted with time. The positioning accuracy of this equipment was evaluated by measuring the distances between the processed holes.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2005-09-18
著者
-
野中 敏
新潟大学大学院:現 新潟県工業技術総合研究所
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芳賀 亮介
新潟大・院
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芳賀 亮介
Niigata-University
-
新田 勇
Niigata-University
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野中 敏
Niigata-University
-
新田 勇
新潟大 工
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芳賀 亮介
新潟大学大学院自然科学研究科
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