2310 磁気ディスク用ヘッドの浮上測定におけるキャリブレーションの影響(要旨講演,情報機器コンピュータメカニクス2)
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概要
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An optical interferometry is widely used for a flying height measurement of the slider in hard disk drives. In order to obtain an aocurat measurement, both the maximum and the minimum intensity of an optical interference must be strictly calibrated. In this paper we describe the effects of a slider attitude, a spot size and an optical filter bandwidth on the calibration. Generally the calibration is conducted in a unloa process in which the slider is forcibly pulled off from aglass disk. We calculated the slider attitude history in the unload process, then we estimated it's effect considering the spot size and the optical filter bandwidth on the calibration.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-03-21
著者
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