マイクロ/ナノマシンを育む共用型試作・実験施設(研究所・研究室紹介)

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 2006-04-05

公益社団法人精密工学会 | 論文

• 放射光ミラーの超精密加工(X線光学)
• 超音波センサネットを用いた広範囲位置検出システムの開発
• ホログラフィ三次元ディスプレイ( 三次元表示技術の進歩と応用)
• マイクロ放電加工による形状創成(3次元微細形状創成技術)
• KrFエキシマレーザ露光装置用TTLアライメント系の開発

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