吸引磁気浮上式大口径リング形モータの研究
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概要
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半導体製造においてイオン注入や洗浄の工程では、現在、在来形の回転機を用いてウエハを回転している。このため装置が複雑で大型になり、磨耗のためメンテナンスが必要となる。磁気浮上技術をこの半導体製造装置に適用すれば、小型にでき、非接触浮上するため磨耗がなく、メンテナンスを低減できると考えられる。そこで著者らは外径400mm、内径360mm、質量3.5kgの回転リングを、吸引電磁石で浮上させ回転させる実験装置を製作した。本論文では実験装置の概要と実験結果について述べる。
- 崇城大学の論文
著者
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山口 仁
崇城大学
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柿木 稔男
崇城大学
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野見山 琢磨
神鋼電機(株)
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地福 順人
崇城大学 情報学部 コンピュータシステムテクノロジー学科
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地福 順人
崇城大学工学部応用電子情報工学科
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山口 仁
崇城大学工学部応用電子情報工学科
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柿木 稔男
崇城大学工学部応用電子情報工学科
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野見山 琢磨
崇城大学大学院エネルギーエレクトロニクス専攻
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澤田 圭司
崇城大学大学院電気・電子工学専攻
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山下 毅
崇城大学大学院電気・電子工学専攻
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