2層シリコンウェハパッチアンテナ(アンテナ設計解析技術, 一般)
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概要
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本稿では, キャビティを有する, シリコンウェハを2層積層した構造を特徴とするパッチアンテナを提案する. 2層各層に設けるキャビティの深さをそれぞれ独立に調整できるため, 等価比誘電率の調整に自由度があり, 更に, 本アンテナの広帯域特性を数値解析にて確認したことを示す. また, 提案するアンテナをMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術により作製するために開発したプロセスについて述べ, 実際にミリ波帯で試作した本アンテナの測定結果を示し, 反射特性, 放射パターンおよび利得の計算値と実測値とが, 概ね一致したことを示す.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-01-19
著者
-
濱口 恒夫
三菱電機(株)
-
西澤 一史
三菱電機株式会社
-
西野 有
三菱電機情報技術総合研究所
-
西野 有
三菱電機(株)情報技術総合研究所
-
吉田 幸久
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
吉田 幸久
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
古閑 洋子
三菱電機(株)情報技術総合研究所
-
吉田 幸久
三菱電機(株)
-
田口 元久
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
山下 彰
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
西澤 一史
三菱電機(株)情報技術総合研究所
-
宮下 裕章
三菱電機(株)情報技術総合研究所
-
牧野 滋
三菱電機(株)情報技術総合研究所
-
山下 彰
三菱電機(株)
-
濱口 恒夫
三菱電機(株)生産技術センター
-
牧野 滋
金沢工業大学工学部
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