Residuals Caused by the CF_4 Gas Plasma Etching Process
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1996-05-30
著者
-
Ueno Hideki
Laboratory Of Biology Faculty Of Education Niigata University
-
Ueno Hideki
Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering Himeji Of Technology
-
Ueno Hideki
Osaka R&d Laboratories Sumitomo Electric Industries Ltd.
-
Hohkawa Kohji
Department Of Electronic & Electrical Engineering Kanagawa Institute Of Technology
-
Ueno H
Himeji Inst. Technol. Himeji Jpn
-
Ueno Hiroki
Department Of Clinical Neuroscience And Therapeutics Hiroshima University
-
NOGE Satoru
Department of Electronics, Nagaoka University of Technology
-
Hohkawa Kohji
Department Of Electrical & Electric Engineering Kanagawa Institute Of Technology
-
Noge Satoru
Department Of Electrical And Electronic Engineering Kanagawa Institute Of Technology
-
Komine Kenji
Advanced Technology Research Laboratory Meidensha Corporation
-
Araki N
Meidensha Corp. Yamagata Jpn
-
ARAKI Nobusige
Advanced Technology Research Laboratory, Meidensha Corporation
関連論文
- n^+GaN/undoped GaN構造上に作成された表面弾性波デバイス特性(特別セッションテーマ: GaN電子デバイスはどこまで特性を伸ばすのか?, 窒化物半導体光・電子デバイス・材料, 及び関連技術, 及び一般(窒化物半導体国際ワークショップ))
- C-10-20 サファイア基板上GaNのSAW特性(C-10.電子デバイス,エレクトロニクス2)
- P2-17 GaN SAWデバイスにおけるサイドゲート効果(ポスターセッション2(概要講演))
- P2-17 半導体/圧電体結合素子のX線回折によるトポグラフィック評価(ポスターセッション2,ポスター発表)
- GaN上SAW素子の紫外線応答(圧電デバイス・材料, 強誘電体材料, 有機エレクトロニクス, 一般)
- GaNエピタキシャル薄膜による高周波弾性波素子の検討(圧電デバイス・材料, 強誘電体材料, 有機エレクトロニクス, 一般)
- P2-25 FIB加工端面をもつ構造物におけるSAWの反射特性 : 素子小型化の可能性(ポスターセッション2(概要講演))
- P2-24 フリップチップボンディングによる圧電基板への半導体素子の実装(ポスターセッション2(概要講演))
- MEMSによるセンシングシステム構築のための一検討(圧電デバイス材料 強誘電材料 一般)
- 圧電体上の構造体を利用した機能デバイスに関する検討(圧電デバイス材料 強誘電材料 一般)
- Golay 符号を用いた広帯域弾性表面波素子に関する検討
- 埋め込み型リング共振器を用いた可変フィルタに関する検討
- 構造体中を伝搬する弾性波伝搬特性
- 超音波デバイス フォトダイオードとSAWフィルタを複合した光機能素子
- P2-C-17 MEMS技術による機能センサの作製(バルク波・表面波デバイス,ポスターセッション2(概要講演))
- P2-C-16 フォトダイオードとSAWフィルターを複合した光機能素子(バルク波・表面波デバイス,ポスターセッション2(概要講演))
- P2-C-15 符号化電極を持つ超広帯域弾性表面波素子(バルク波・表面波デバイス,ポスターセッション2(概要講演))
- 二次元周期構造体中における表面弾性波の伝搬特性(圧電デバイス・材料,強誘電体材料,有機エレクトロニクス,一般)
- P3-48 二次元周期構造体を有する弾性波機能素子に関する検討(ポスターセッション3,ポスター発表)
- P3-40 半導体結合SAW特性可変フィルタの設計(ポスターセッション3,ポスター発表)
- P1-34 音響光学素子と半導体光素子の複合集積化に関する検討(ポスターセッション1,ポスター発表)
- P3-39 マルチストリップ形半導体-SAWプログラマブルコリレータ(ポスターセッション3,ポスター発表)
- P3-38 半導体能動素子と複合集積化したSAW機能回路(ポスターセッション3,ポスター発表)
- PF06 ELOによる圧電基板上への半導体薄膜ボンディング技術について(ポスターセッションI)
- PF05 Si/圧電体構造を有するSAW機能素子の作製(ポスターセッションI)
- US2000-29 / EMD2000-25 / CPM2000-40 / OME2000-35 弾性表面波/半導体結合デバイスの基礎的検討
- US2000-28 / EMD2000-24 / CPM2000-39 / OME2000-34 異種材料貼り合わせのための基礎検討
- US2000-29 / EMD2000-25 / CPM2000-40 / OME2000-35 弾性表面波/半導体結合デバイスの基礎的検討
- US2000-28 / EMD2000-24 / CPM2000-39 / OME2000-34 異種材料貼り合わせのための基礎検討
- US2000-29 / EMD2000-25 / CPM2000-40 / OME2000-35 弾性表面波/半導体結合デバイスの基礎的検討
- US2000-28 / EMD2000-24 / CPM2000-39 / OME2000-34 異種材料貼り合わせのための基礎検討
- US2000-29 / EMD2000-25 / CPM2000-40 / OME2000-35 弾性表面波/半導体結合デバイスの基礎的検討
- 半導体 : 弾性表面波結合素子の作製と応用
- 半導体 : 弾性表面波結合素子の作製と応用
- PC-6 エピタキシャルリフトオフ技術に基づく弾性表面波・半導体複合機能素子の作製技術
- GaN上SAW素子の紫外線応答(圧電デバイス・材料, 強誘電体材料, 有機エレクトロニクス, 一般)
- GaNエピタキシャル薄膜による高周波弾性波素子の検討(圧電デバイス・材料, 強誘電体材料, 有機エレクトロニクス, 一般)
- GaN上SAW素子の紫外線応答(圧電デバイス・材料, 強誘電体材料, 有機エレクトロニクス, 一般)
- GaNエピタキシャル薄膜による高周波弾性波素子の検討(圧電デバイス・材料, 強誘電体材料, 有機エレクトロニクス, 一般)
- MEMSによるセンシングシステム構築のための一検討(圧電デバイス材料 強誘電材料 一般)
- 圧電体上の構造体を利用した機能デバイスに関する検討(圧電デバイス材料 強誘電材料 一般)
- MEMSによるセンシングシステム構築のための一検討(圧電デバイス材料 強誘電材料 一般)
- 圧電体上の構造体を利用した機能デバイスに関する検討(圧電デバイス材料 強誘電材料 一般)
- 2P3-8 対面張り合わせによるモード結合SAW素子に関する基礎検討(ポスターセッション)
- 2P3-7 AlGaN/GaN弾性波共振器に関する基礎検討(ポスターセッション)
- 1P5-9 埋め込み形電極構造を用いたAlGaN/GaN素子(ポスターセッション)
- 1P5-6 表面張り合わせによるSAW素子の基礎検討(ポスターセッション)
- 電荷転送効果によるGaN紫外線センサーに関する基礎検討
- 超音波デバイス cMUT作製のためのCr犠牲層エッチング技術
- 1-06P-40 AlGaN/GaNフィルム素子における可変特性(ポスターセッション 1)
- 1-06P-38 犠牲層プロセスによるSAW素子の局所的パッケージング(ポスターセッション 1)
- 1-05P-34 犠牲層エッチングによるCMUT作製技術に関する検討(ポスターセッション 1)
- 2軸方向磁場測定用ホール素子および磁場可視化システムの開発(その1)
- P2-10 SAW-Semiconductor UV Sensor Using GaN Film(Short oral presentation for posters)
- n^+GaN/undoped GaN構造上に作成された表面弾性波デバイス特性(特別セッションテーマ: GaN電子デバイスはどこまで特性を伸ばすのか?, 窒化物半導体光・電子デバイス・材料, 及び関連技術, 及び一般(窒化物半導体国際ワークショップ))
- n^+GaN/undoped GaN構造上に作成された表面弾性波デバイス特性(特別セッションテーマ: GaN電子デバイスはどこまで特性を伸ばすのか?, 窒化物半導体光・電子デバイス・材料, 及び関連技術, 及び一般(窒化物半導体国際ワークショップ))
- 分析電子顕微鏡システム利用研究成果、そのXIV
- Association between central systolic blood pressure, white matter lesions in cerebral MRI and carotid atherosclerosis
- HOST RANGE EXPANSION OF THE PHYTOPHAGOUS LADYBIRD BEETLE, EPILACHNA VIGINTIOCTOPUNCTA TA IN SOUTHEAST ASIA(Taxonomy and Systematics,Abstracts of papers presented at the 74^ Annual Meeting of the Zoological Society of Japan)
- The Usefulness of Serial Changes in Serum CA19-9 Levels in the Diagnosis of Pancreatic Cancer
- Josephson Current in Microbridges of YBa_2Cu_3O_ Thin Films Prepared by CVD
- Bridge Type Josephson Junctions in MO-CVD Thin Films
- Fabrication of Si/LiNbO_3 Structure by Using Film Bonding Process
- Photoluminescence Quenching in Polysilanes by Fullerene Doping and Effective Photoinduced Charge Transfer Depending on Aromatic Side Group
- IL-4とIL-7によるヒトナイーブT細胞のCD31発現とIL-4産生の調節
- P2-28 サファイア基板上GaNのSAW特性(ポスターセッション2(概要講演))
- X-Ray Analysis of Stress Distribution in Semiconductor Films Bonded to a Piezoelectric Substrate(Instrumentation, Measurement, and Fabrication Technology)
- Simulation Study of Semicondcutor Coupled Surface Acoustic Wave Convolver through a Multi-Strip Electrodes
- Bonding Technology of Semiconductor Film on Piezoelectric Substrate Using Epitaxial Lift-Off Technology
- Photoresponse on Surface Acoustic Wave Devices with Compound Semiconductor and LiNbO_3 Structures
- Electroluminescent Diodes Utilizing Polysilanes
- Study on Surface Acoustic Wave Devices for a Pulse Position Modulated Direct Sequence Spread Spectrum Communication System
- Surface Acoustic Wave Multiple Phase Shift Keying Modulator-Demodulator Circuits
- Multicolor Organic Light Emitting Diodes with RGB Emission(Special Issue on Organic Materials for Optics and Electronics)
- Enhanced Emission from Europium Complex Utilizing Quantum-Well Structure in Organic Electroluminescent Device
- Influence of Creeping Distance and Gas Pressure on Negative Creeping Dischargefor Composite Insulation Consisting of N_2/SF_6 and Solid Dielectric under Pulse Voltage
- Negative Creeping Discharge Characteristics of a Gas/Solid Composite Insulation System under Pulse Voltages
- Residuals Caused by the CF_4 Gas Plasma Etching Process
- Reliable Au Wire Bonding to Al/Ti/Al Pad
- Piezoelectric Sensors Using Rubber Sensing Film
- Integration of Semiconductor Devices with Surface Acoustic Wave Using the Epitaxial Lift-Off Process
- Study of the Microscopic Surface Structure of a Quartz Substrate for Surface Acoustic Wave Devices
- Surface Acoustic Wave Semiconductor Coupled Devices Employing Epitaxial Lift-Off Films
- A 2V, 500MHz and 3V, 920MHz Low-Power Current-Mode 0.6μm CMOS VCO Circuit (Special Issue on Microwave and Millimeter Wave Technology)
- Piezoelectric Resonance Properties of a β Phase Quartz Plate
- Twinning of a Quartz Plate at Low Temperature Using a Laser Beam
- HOST RACES OF HENOSEPILACHNA SP. 3 : I. GEOGRAPHIC DISTRIBUTION AND HOST PLANT SPECIFICITY IN JAVA, INDONESIA(Taxonomy and Systematics,Abstracts of papers presented at the 76^ Annual Meeting of the Zoological Society of Japan)
- Preliminary Experiments on Adult Food Preference of the Indonesian Phytophagous Ladybird Beetle, Epilachna sp. aff. emarginata (Coleoptera : Coccinellidae)
- Detection of desmoplastic reaction in biopsy specimens is useful for predicting the depth of invasion of early colorectal cancer : a Japanese collaborative study
- An Investigation of Optical Excitationand Detection of Piezoelectric Vibrations
- Japanese Society for Cancer of the Colon and Rectum (JSCCR) guidelines 2010 for the treatment of colorectal cancer
- Akinetic Mutism Caused by HIV-associated Progressive Multifocal Leukoencephalopathy was Successfully Treated with Mefloquine: A Serial Multimodal MRI Study
- Josephson Effects at 77 K in Grain Boundary Bridge Made of Thick Films : Electrical Properties of Condensed Matter
- Natural Polarization Phenomenon of Superstructure Film Composed of Metal-Doped Silica Layers
- Proposal of Solidly Mounted Resonator Type Functional Devices
- Behaviors of Dielectric Superlattice Thin Films Composed of Silicate Glass Nanolayers
- Simulation Study on Semiconductor Coupled Surface Acoustic Wave Convolver through a Multi-Strip Electrodes
- Bonding Technology of Semiconductor Film on Piezoelectric Substrate Using Epitaxial Lift-Off Technology
- Piezoelectricity of Poled Silica Containing Thermal Diffused Tetravalent Elements
- Distribution of CRa in clubroot resistance (CR) cultivars of Chinese cabbage