実測状態におけるスピニングローター真空計の精度に及ぼす温度効果
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概要
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This paper deals with a short term aging simulation to analyze the offset pressure change of Spinning Rotor Gauge (SRG) in two cases, one was for the Gauge with transient external heating and the other was for the gauge left in room temperature without heating. This model and simulation method have been deveroped for the starting operation of the SRG. This time, it was also applied to evaluate influence of room temperature change on the accuracy of the SRG during actual operation. The results from the simulation showed good agreement with experimentally measured time chart of the offset pressure. This comparison with results were similar to those for the starting operation. The present method proved to have its practicability and validity in this application.
- 1992-12-15
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