3. 応用I:微粒元素質量分析(<小特集>表面波励起プラズマの生成とその応用)
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概要
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Results of the study of a high power microwave induced annular shaped nitrogen plasma at atmospheric pressure as an ion source for mass spectrometric elemental analysis of aqueous solutions (N_2 MIP-MS) are reviewed. The plasma is generated by the Okamoto cavity operated in a surface wave mode and operated at power levels between 0.5 and 1.3 kW and at gas flow rates between 10 and 13 l/min. The wet aerosol obtained by nebulization is directly carried into the plasma. The N_2 MIP is capable of determing K, Ca, Cr, Fe, As, and Se at their major isotopes without background interferences. Detection limits for these elements obtained directly are lower than those of argon inductively coupled mass spectrometry (Ar ICP-MS). The N_2 MIP-MS can be directly analyzed the organic solvent, photoresist and the serm etc.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1996-07-25
著者
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