埋込電極をもった増幅型撮像素子の提案(<論文小特集>固体撮像とその関連技術)
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概要
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撮像素子の高光感度化を目的として, セルの受光面上には直流電圧が与えられた非常に薄い光透過性の電極と垂直信号線しか存在しない増幅型撮像素子を提案する.この素子はリセット, 蓄積, 信号読出しなどのモード制御を半導体基板中に埋込んだ電極から行い, ソースフォロアの出力としての信号電圧の制御をホトダイオードに蓄積された信号正孔によって行うものである.本論文では, この構造を1000×1000セル/cm^2の素子に適用し, その動作を主としてセル内の電位分布をポアソンの方程式を解くことによって解析した.その結果, この素子は残像やブルーミングはなく, スミアも低いレベルに押さえられることがわかった.セルの光電変換感度は, 蓄積時間を1/60秒とすると約2.9×10^9hole・cm^2/cell・Wati, 最大蓄積信号正孔数は約2.2×10^5hole/cell, 信号正孔から信号電圧への変換係数は約5.7×10^<-6>V/holeであった.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1994-02-20
著者
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