X線回折顕微鏡像のテレビ表示
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概要
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X線回折顕微鏡は結晶材料, 素子中の格子欠陥を直接観察するすぐれた手段であるが, 観察に長時間を要する欠点があり, 幅広い応用がはばまれてきた.この欠点を解消するため回折像のテレビ直視装置を開発した.撮像上の問題点と対策について述べ, 応用例としてシリコン結晶の成長過程の観察をあげた.欠陥構造の動的研究や結晶素子の工程検査など工業的利用に回折顕微鏡の新しい応用が期待される.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1975-02-01
著者
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