CMOS集積化フラックスゲート2次元磁気センサ
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概要
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標準CMOSプロセスに簡単なセンサ用後工程で実現できる高感度な2次元磁気センサについて報告する。本磁気センサは、フラックスゲートと呼ばれる軟磁性材料とコイルを用いた磁気検出原理に基づいており、標準0.8umCMOSによる2層アルミ配線をコイルに用い、NiFeMoの軟磁性膜を形成することで、15V/Tの高感度と、6nT/√Hzの高い検出分解能を得た。これを、CMOS集積化センサとして実現し、磁束領域へのパルス負帰還に基づく2次デルタシグマ変調インターフェースを集積化することで、高分解能なディジタル磁気検出を可能とした。試作されたチップにより地磁気レベルの微弱な2次元ベクトル磁界の検出に成功し、角度分解能は、約4度であった。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1999-09-20
著者
-
川人 祥二
豊橋技術科学大学
-
Maier Christoph
スイス連邦工科大学
-
Schneider Michael
スイス連邦工科大学
-
Baltes Henry
スイス連邦工科大学
-
Baltes Henry
Eth Zurich Zurich Che
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