高周波スパッタ法により作製したCaS:Eu薄膜EL素子の電気光学的特性 : 情報ディスプレイ

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概要

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高周波スパッタ法により赤色発光CaS:Eu蛍光薄膜を形成する場合、ターゲット中に銅共付活剤を同時添加すること及びスパッタガス中に硫化水素を添加することが必要である。銅共付活剤と硫化水素がEL素子の動作特性に与える効果を調べるため、蓄積電荷量と電圧の関係、定常状態発光波形、過渡応答発光波形などの基礎特性を測定した。その結果、次のことが判明した。銅を同時添加することによって、発光層中の移動電荷量が増大し、素子はELを示すようになる。試作したEL素子おいて発光層中の電界強度は2,2WV/cmにも達し、この強電界が高効率ELの主な原因となっている。また、硫化水素をスパッタガス中に添加することにより、EL素子の過渡応答特性が大幅に改善され、発光出力は数パルス以内に定常値に達する。
社団法人映像情報メディア学会の論文
1992-10-19

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