アクティブマトリックスLCDパネルのインプロセス機能検査(<論文特集>ディスプレイJapan Display'92を中心として)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
アクティブマトリックス型LCDパネルの電気的欠陥を検出する新しいインプロセス機能検査法について述べる.光学的に半導体表面の電荷密度の変化を評価することにより欠陥を検出する基本的な原理と, ショートバーあるいはドライバ内蔵のLCDパネルの検査方法を概説し, 欠陥検出能力, 薄膜トランジスタ(TFT)の特性評価能力を検討した.その結果, 本手法は充分な空間・電圧分解能で点欠陥および線欠陥の位置と種類を特定でき, さらに個々のTFTの閾値, スイッチング特性およびそのバラつき等を非接触で評価する能力を持っていることが示された.
- 一般社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1993-05-20