感光性ポリシランを用いた平面屈折率分布型デバイスの検討(光パッシブコンポーネント(フィルタ, コネクタ, MEMS), 光ファイバ, 一般)
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概要
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感光性ポリシランのフォトブリーチング技術を応用した屈折率分布型スラブの光デバイスとしての可能性を検討する目的で、マルチモード干渉を利用した平面型2分岐の設計・試作・評価を行った。屈折率分布型矩形導波路の設計と最適化をMarcatiliモデルを使用したモード伝搬解析と計算機によるビーム伝搬法で行い、膜厚50μmの屈折率分布型スラブの四方をダイシングによる鏡面加工で試作を行った。断面の反射率の変化から膜厚方向にほぼ放物線状の屈折率分布と約0.0456の屈折率差が測定され、試作した屈折率分布型矩形導波路の中心にビームを入射したところ、平面方向にのみ2分岐する出力が観測された。
- 2005-12-05
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