圧電セラミックスを用いたアクチュエータの特性に及ぼす添加物効果
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概要
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センサ/アクチュエータ用としてPb[(Zn, Nb), Ti, Zr]O_3からなる圧電体セラミックスへの添加物の検討を行った結果, 次のような結論を得た. 圧電特性はほとんど低下せず大振幅に適したものが得られた. 添加物の最適量は1mass%のAl_2O_3と0.282mass%のCr_2O_3であった. これらの添加物を含有した圧電体セラミックスの副成分相はほとんど生成していなかった. また添加物の効果は機械的品質係数Qmが大きくなったことである. 添加物含有の圧電体セラミックスで構成さた音叉に同じ圧電セラミックスを装着して測定した結果, 入力周波数と共振特性は良好な線形性を示した. 線形動作特性において, 入力電力に対する駆動インピーダンスの増加値は低いことがわかった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-07-25
著者
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