陽極化成シリコン/単結晶シリコン試料の水蒸気に対する電気特性変化
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概要
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陽極化成シリコンをもつ試料の雰囲気を真空から有極性ガスに変えると,可逆で1けた以上にのぼる静電容量Cの増加,抵抗Rの減少が測定された.湿度に対するC,Rの変化傾向はCR積=1/ω(ωは測定周波数),またはC=一定値の2種類に大別できた.最も速いCの応答は化成層中へ約10μm,水分子が侵入する間に測定された.低湿度中のRの変化量は化成層中の内部表面に吸着した一つの水分子当り一定であることを示した.
- 1994-05-25
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