LED発光強度の温度特性に対するSiN_x膜のフィルタ効果
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
我々が,LEDの発光強度の温度変動の安定化の方法として提案した光学フィルタの透過スペクトルによる効果が,通常LEDのパッシベーション膜として用いられるSiN_xにおいても出現するかを検討した.SiN_x膜の透過スペクトルは,膜厚に依存し,LEDの発光波長は,温度に依存するため,LEDの発光強度の温度特性は,SiN_xの膜厚に依存することになる.そこで代表的な反射防止膜の膜厚3/4波長に対し,-15%〜+15%の間で膜厚を増減したSiN_x膜を有するLEDを作製し,その発光強度および発光スペクトルの温度特性を測定した.計算では,発光強度の温度係数の内,このフィルタ効果による成分は,上記の膜厚の範囲に対して,-0.049%/℃〜+0.072%/℃の間で変化する.これに対して測定の結果は,発光強度の温度係数のフィルタ効果による成分は,-0.01〜+0.03%/℃となった.今回の実験では,LED単独の温度係数のばらつきが大きいため,両者は,一致していると断言できるまでには至らなかった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-12-25