電子線リソグラフィにおけるレジストパターンのエッジラフネス
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概要
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電子線リソグラフィにおけるレジストパターンのエッジラフネス測定方法について検討し、測定値が測長SEMの解像度と、エッジ検出のための信号積算数に依存することを示した。エッジラフネスが酸拡散等の影響を含んだ擬似的なビームプロファイルの傾きに反比例することを明らかにした。この事実に基づき、ビームぼけ定量化方法であるエッジラフネス評価法を提案した。エッジラフネス評価法を用いることで、レジストの酸拡散の違いや、電子光学系のビーム収差を調べた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-11-23