圧電セラミックデバイスの展望 (最近の超音波応用デバイス論文特集)

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概要

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• 圧電セラミックデバイス発展の過去,現在,未来を展望し,各種圧電材料と圧電セラミックスの特性を比較検討し,バルク波と表面波デバイスに分けて代表的な応用を紹介し,その未来を予測した.特に近い将来に急速に発展すると思われる薄膜圧電材料は多結晶セラミックスであるという視点から,その発展方向について考察した.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1999-12-25

著者

• 藤島 啓

  (株)村田製作所

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