レーザリペア技術を用いたTFT-LCDの無点欠陥化
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概要
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TFT製造工程において点欠陥が発生した場合のリペア方法について提案した. 絶縁膜のピンホールに起因する付加容量部分のショートによる点欠陥は, 付加容量分割レーザリペア(カット&ウェルド)方式により, 正常画素表示にすることが可能である.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-02-25
著者
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鵜飼 育弘
ホシデン・フィリップス・ディスプレイ株式会社研究部
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鵜飼 育弘
ホシデン株式会社開発技術研究所
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鵜飼 育弘
ホシデン・フィリップス・ディスプレイ株式会社r&d
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鵜飼 育弘
ホシデン株式会社
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鵜飼 育弘
ホシデン・フイリップス・ディスプレイ株式会社r&d
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湯川 禎三
ホシデン株式会社開発技術研究所
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安居 勝
ホシデン株式会社開発技術研究所
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