銅フタロシアニン超薄膜の構造と電子物性のその場観測(I)
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概要
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新規開発したエネルギー分散型全反射面内X線回折計により、銅フタロシアニン(CuPc)超薄膜の面内X線回折と蛍光X線微量分析の蒸着時における同時観測をおこなった。試料からの蛍光X線は基板上の試料量に対する正しい情報を与え、面内X線回折のデータと組み合わせることにより、正確な分子配向変化の膜厚依存性を評価することができる。得られた面内X線回折プロファイルより、CuKα、Kβ蛍光X線、200、002反射が観測され、さらにその膜厚変化を解析することにより、蒸着の極初期過程ではCuPcはアモルファス状であること、さらに蒸着を行うと結晶化していくが、ある膜厚値において大きな配向の変化があることなどが示唆された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-21
著者
-
松重 和美
京都大学工学研究科国際融合創造センターベンチャービジネスラボラトリー
-
堀内 俊寿
京都大学工学部電子物性工学科
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川戸 伸一
京都大学工学研究科電子物性工学教室
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林 好一
京都大学工学研究科電子物性工学教室
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