窒化炭素膜の極低摩擦現象に及ぼす相手面表面粗さの影響
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概要
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窒素ガス中においてSi_3N_4(窒化ケイ素)球と炭化窒素膜(CNx)との摩擦では繰り返し摩擦によるなじみ過程により摩擦係数が極端に減少することが既に知られている.しかし球表面の粗さの影響については明らかにされていなかった.本研究の実験結果から異なる表面粗さの球を用いた場合も全て摩擦係数は0.05以下となった, さらに0.01以下の摩擦係数を得た場合には表面が非常に滑らかになっている事が明らかにされた.この滑らかな表面による繰り返し摩擦によって球及び膜上に薄い微小な移着膜が形成されこれにより, 摩擦係数は減少している.
- 2001-10-12