定常強制振動を受ける圧電振動ジャイロ用音片型振動子のずれ角に関する等価回路解析
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概要
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正方形断面を有する音片型圧電振動ジャイロについて等価回路解析を行った。筆者らはすでに、ジャイロ用音片型振動子の二つの固有振動数を縮退させるために、の実験と有限要素法による解析を行い各種モデルについてトリミング方法を示している。本報告ではまず有限要素法解析のモデルを等価回路に置き換える方法を示した。この中で実際の回路における電流検出方式の有効性が示唆された。次に定常強制振動を受ける振動子について、実動作状態でのずれ角が、固有振動モード軸のずれ角および二つの固有振動数の差、駆動周波数と固有振動数の差によって受ける影響を数値解析した。その結果ずれ角の周波数特性に関して、有限要素法解析と等価回路解析の結果が良く一致することを確認した。また部分的に、前者の誤差を後者が補えることも示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-06-21
著者
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