電子材料としてのダイアモンド : 熱的な性質と電気的特性
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概要
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近年ダイアモンドは様々な過酷な環境に耐えられる耐環境強化素子材料として用いられようとしている。ダイアモンドの半導体材料としての研究は近年活発に行われるようになってきた。ダイアモンドの研究は気相合成法により、成分や構造を制御しながら合成し、その特性を十分に把握し, 利用可能となってきた。ダイアモンド結晶は、ダイアモンド構造と呼ばれる周期的な原子配列をしている。半導体材料のSiや、Geも同じ構造をしている。従って、ダイアモンドの半導体材料としての可能性は大きい。本研究では人工ダイアモンド単結晶の熱的性質を主に調べた。更に電気的性質も調べたが, この領域の研究は未だ途中段階であり経過報告に留めている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-09-19
著者
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