GMRヘッド素子寸法計測アルゴリズムに関する検討
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概要
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ウェハ上に形成されたサブミクロンオーダのGMRヘッド素子の寸法をナノメートルの精度で測定するアルゴリズム及びそれを搭載した自動計測装置を開発した。 波長248nmの遠紫外光で検出された素子画像から, 素子パターンのエッジ間距離を算出する。 高分解能でかつ再現性の高い測定を行うため, エッジ候補点の分散状態から異常点を抽出して除去することにより, 異物等の外乱の影響を受けにくいサブピクセル寸法演算処理を実現し, 測定再現性±4nm (3σ)を得た。 実プロセスでの評価結果について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-06-14
著者
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