原子線ホログラフィー
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概要
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リソグラフィーや表面研究を行なう際は、任意の原子操作が不可欠となる。ここで紹介する原子線ホログラフィーの手法は、中性原子の回折・干渉現象を利用することで、そのような任意の強度・位置への原子操作を可能にした。また、この技術は原子を単一操作るのではなく、集団で原子操作できる利点も持っている。レーザー冷却された原子の場合、サブμm程度のdeBroglie波長が得られる。そのため、近年発展したX線の分野における超微細加工技術を利用して透過型構造を加工すれば、容易に大きな回折角が得られ、回折・干渉効果の観測が可能となる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-06-25