ドライフィルム法による障壁電極型プラズマディスプレイの作製

概要

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プラズマディスプレイ(PDP)は現在の段階では対角40インチの大画面の方向で開発が行われている。しかしPDPの適用範囲を広げるため、ワークステーション用の対角17インチ前後のPDPを作製する必要がある。そのためにはセルピッチを約0.1〜0.15mmにする必要があるが、セルピッチを小さくするとイオンや電子が障壁に衝突して消滅する確率が高くなり、輝度及び発光効率が低下する。そこで我々は障壁上に電極を持つ障壁電極型PDPを提案し、研究・改良を重ねてきた。その結果、1mmピッチのパネルにおいて800cd/m^2、1.5lm/W、または0.5mmのパネルにおいて570cd/m^2、1.0lm/Wの高輝度・高発光効率を得ている。障壁電極型PDPは障壁上に電極を持つ構造のため障壁の作製が重要になる。現在我々の研究室では主にサンドブラスト法によって障壁を作製しているがサンドブラストによる第一誘電体層へのダメージが問題となっている。そこで今回第一誘電体層へのダメージのないドライフィルムを用いた障壁の製作方法に注目し、ドライフィルム法を用いて障壁電極型PDPを作製したので報告する。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-03-27