ミリ波帯オンウエハ自動評価システムの開発
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概要
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近年、各種ミリ波システムの開発にともない、そのキーデバイスであるミリ波帯MMICの高速・高精度・非破壊評価が必要となってきている。上記要求に対応するため、マイクロ波帯においてはオンウエハ評価が多用されているが、ミリ波帯において同様の評価を大規模に適用した報告例はみあたらない。今回30〜110GHzに亙るミリ波特性(Sパラメータ及びNF)のオンウエハ自動評価システムの開発を行ったので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
-
井上 晃
三菱電機(株)情報技術総合研究所
-
高木 直
三菱電機株式会社
-
加藤 隆幸
三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
高木 直
三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
柏 卓夫
三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
柏 卓夫
三菱電機株式会社高周波光素子事業統括部
-
加藤 隆幸
三菱電機株式会社
-
高木 直
三菱電機株式会社情報技術総合研究所
-
松林 弘人
三菱電機(株)光・マイクロ波デバイス開発研究所
-
松林 弘人
三菱電機株式会社 光・マイクロ波デバイス開発研究所
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