フラクタル特徴変数による複雑な形状をもつ物体の同定 : LSIウェーハ上の異物のカテゴリー分類
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概要
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LSIウェーハ上に付着する異物をその映像からカテゴリー分類を行うことを主目的とした異物の数理モデルを作成し,その同定アルゴリズムを作成する.異物の形状的特徴を表現する数理モデルとしてフラクタル次元を採用する.従来の大局的に求められるフラクタル次元では異物の形状的特徴を表現しきれず,カテゴリー分類を目的とした数理モデルとしては不十分であった.本研究では大局的に求められるフラクタル次元に局所的なスケール領域において求められるフラクタル次元を導入し,異物の形状的特徴を表現する数理モデルとしてフラクタル特徴変数を定義する.更に,カテゴリー分類手法としてフラクタル特徴変数を用いたマハラノビス距離による手法を提案する.実データによる同定実験を行い,本研究で提案する同定手法の有効性について検討する.
- 1995-05-25
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