超音波センサーによる高精度液体濃度計
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概要
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超音波の伝播時間を正確に計測するには、外的要因を受けず、高精度で再現性があるセンサーの構築と計測法が重要である。本論では、従来の超音波による音速計測法のシングアラウンド法とオーバーラップ法の概要について述べ、次にそれを発展させた新型センサーの原理と測定法および基本的性能の評価実験結果を報告する。さらに半導体製造プロセスで使用される薬液を高精度に計測することが可能なシステムの実用化について報告する。具体的にはこの新型センサーは、2つのセンサーと2つの反射板を対向型に配置し、送信と受信の組み合わせから超音波の伝播時間を求める。伝播時間から測定対象物の絶対音速Vを求めた。絶対音速と温度データより濃度が求められる演算処理回路を作製し、それを内蔵した超音波液体濃度計を開発した。
- 1999-11-11