電子ビーム励起プラズマによる光触媒二酸化チタン薄膜の環境への応用
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概要
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本研究では、電子ビーム励起プラズマ(Electron-Beam-Excited Plasma)装置の応用として、様々な種類の薄膜を成膜しようと試みている。EBEP装置には優れた特徴があり、電子ビームエネルギーと電子ビーム密度を加速電圧V_Aと放電電流I_Dによってそれぞれ独立に制御できるという特徴がある。薄膜の膜質はそれらのパラメータを変化させることにより制御できる。例としてTiO_2膜は加速電圧V_Aを80V、90V、100Vそして放電電流I_Dを3A、4A、5Aと変化させていきスパッタすることにより成膜させていくことができる。結果として、膜色と膜の組成がV_Aによって制御することができ、そして成膜速度がI_Dによって制御できることがわかった。今後は応用として空調用フィルタヘTiO_2膜の成膜を試みようとしている。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-05-20
著者
-
黄 振賢
中部大
-
二宮 善彦
中部大
-
貴田 桂介
中部大
-
馬場 清英
中部大
-
久保田 高徳
中部大
-
鈴木 連
中部大
-
久保田 高徳
中部大学 工学部
-
鈴木 連
中部大学 工学部
-
六鹿 太詞
中部大学 工学部
-
黄 振賢
中部大学 工学部
-
吉岡 敏太郎
中部大学 工学部
-
貴田 桂介
中部大学 工学部
-
馬場 清英
中部大学 工学部
-
西脇 彰
中部大学 工学部
-
池澤 俊治郎
中部大学 工学部
-
二宮 善彦
中部大学 工学部
-
六鹿 太詞
中部大
-
吉岡 敏太郎
中部大
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