有限要素法を用いた弾性表面波の周波数-温度特性解析

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概要

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• 本論文では、有限要素法を用いた弾性表面波の周波数-温度特性解析について述べる。まず、弾性表面波が伝搬する周期構造において、水晶の周波数-温度特性解析のための有限要素法の定式化を示す。そして、2次元解析にて、電極膜厚を変えた場合の周波数の頂点温度及び2次温度係数の計算値がSTカットの実験値と良い一致を得たことを示す。また3次元解析にて、電極交差指幅を変えた場合の横モードの周波数の計算値が実験値と良い一致を得たことを示す。さらにその周波数-温度特性は実験値と概ね一致することを示す。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1999-06-21

著者

• 神名 重男

  セイコーエプソン(株)研究開発本部

• 神名 重男

  セイコーエプソン

• Yong Yook-Kong

  Civil & Environmental Engineering Dept., Rutgers University

• Yong Yook-kong

  Civil & Environmental Engineering Dept. Rutgers University

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