基本波を用いたUHF帯水晶振動子
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概要
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基本波モードで動作するダイアフラム構造のUHF帯ATカット水晶振動子は周波数温度特性が用いる電極材料や電極膜厚と水晶振動部の板厚との比に大きく依存する傾向にある。本報では、電極材料を金、全面電極膜厚と水晶基板厚との比率を約9%、更に、主電極膜厚を60nmとすることで、温度範囲が-35℃〜+85℃において周波数変化量が±15ppm以内で、等価抵抗値が33Ω、Q値が2, 300の基本波モードで発振する共振周波数622MHzの振動子を得た。更に、本振動子を用いてコルピッツ発振回路をベースとしたVCXOを構成し、周波数可変特性が±120ppm/2.5V±2V、位相雑音特性が離調周波数1kHzで-100dBc/Hzの特性が得られることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-07-03
著者
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