圧電バイモルフの特性向上

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概要

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圧電バイモルフでは、バイモルフの各寸法が決まればシム材と圧電セラミックの材料定数で共振周波数と変位が決まる。従って、特性の向上のために材料定数を改善することが従来行なわれてきたが、ここではバイモルフの保持構造によるバイモルフの特性変化を解析的に求め、その結果をもとにして、弾性シム材を固定するとともに圧電セラミックを弾性支持する保持方法を提案した。これにより、圧電バイモルフの先端位置および変位の安定性を維持しながら、共振周波数と変位持性の総合特性を向上させた。また、この解析手法により本保持による圧電バイモルフの共振周波数および変位特性の設計も可能である。
社団法人電子情報通信学会の論文
1993-07-23

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