人工双晶形成による水晶振動子の温度補償
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概要
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水晶基板に適当な処理を施すと、任意の形状で一軸が反転した領域が形成されることを以前に報告した。このような電気的双晶水晶の応用は種々考えれれるが、本報告ではその一例として水晶振動子の周波数温度特性改善法を提案する。ATカット板は、容易に人工双晶が形成できるので、ATカット水晶板上で、振動子の励振電極近傍にX-軸反転領域を形成し、エネルギー閉じ込め条件の温度依存性を利用することにより、温度特性を改善することかできる。実験の結果、温度特性改善の可能性が確かめられた。
- 1996-07-25
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