FeCoNi/Cu人工格子薄膜の耐熱性

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概要

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GMR材料のMRヘッドへの応用の際、プロセス中の温度上昇や動作時の温度上昇によるダメージを防ぐため、熱劣化のメカニズムを解明し、改善を図る必要がある。本研究では、反強磁性結合をもつ人工格子GMR材料における耐熱性の評価、および耐熱性改善のための材料を検討した結果、熱処理によってMR比は導体層厚に敏感に依存し、熱処理でおこる拡散の微小な層厚変化も影響を与えることがわかった。また、実用的なMR-H特性を持つFeCoNi, Cuは耐熱性が低いため、磁性層をCo-richにし、Cuを20%添加することで耐熱性を30%向上させることを見出した。また、導体層に非固溶のAgを5%添加することで耐熱性を300℃まで改善させることを見出した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1994-07-25

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