MEMS開発の10年と光通信への応用
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概要
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シリコンのマイクロ歯車が1987年に発表され、皆に衝撃を与えてから10年以上が経ち、MEMS(マイクロマシン)の加工技術が進歩し、実用化の時代を迎えている。初期のマイクロ歯車やマイクロ静電モータが数ミクロンの厚さしかない、平面的な構造であったのに対し、現在ではさまざまな立体マイクロ構造を作って自由に動かすことができる。応用製品も、エアバッグ用の加速度センサ、インクジェットプリンタヘッド、可動ミラーアレイによる投写型デスプレイなどが市販されている。これから有望な分野として、光通信への応用が注目されている。光通信用MEMSデバイスには、可変波長のレーザとフィルタ、プログラム可能減衰器、変調器などがあり、特に大規模な光スイッチが開発の中心になっている。
- 2001-04-20
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