平行電極を有する抵抗膜のための4探針法補正係数
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概要
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平行電極を有する抵抗膜の比抵抗を4探針法で直接測定することを考え, それに適応した補正係数を求めた.2次元方形抵抗膜の対向する棒状電極の抵抗値を0とみなし, 相当する2辺の電位を一定とする境界条件により補正係数を算出した.平行電極を有する抵抗膜は抵抗膜感圧式デジタイザの性能を左右するが, その評価は間接的な方法によっていた.しかし, 今回導出した補正係数により, 4探針法にて平行電極を有する抵抗膜の比抵抗を測定できることをシミュレーションと実験により確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-04-25
著者
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