ナノフォームの音響特性と応用デバイス : 高感度空中超音波センサー(圧電デバイス材料 強誘電材料 一般)
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概要
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空中超音波センサの高感度化を目的として、音響整合層にナノフォームを適用する検討を行った。ナノフォームはゾル-ゲル反応により形成される多孔質体であり、低音響インピーダンスを有するため,空中超音波センサの音響整合層として有効である。本研究ではシリカ骨格を有するナノフォームと、セラミック多孔体との2層構成とした音響整合層を持つ超音波センサを作製し,その音響特性を評価した。作製した超音波センサは一般的な音響整合層を用いた空中超音波センサの約20倍程度の感度が得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-06-25
著者
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橋本 雅彦
松下技研(株)研究開発グループ
-
橋本 雅彦
松下電器産業株式会社
-
鈴木 正明
松下電器産業株式会社 先端技術研究所
-
鈴木 正明
松下電器産業株式会社先端技術研究所ナノテクノロジー研究所
-
鈴木 正明
松下電器産業
-
橋田 卓
松下電器産業株式会社先端技術研究所ナノテクノロジー研究所
-
永原 英知
松下電器産業株式会社 先端技術研究所 ナノテクノロジー研究所
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橋本 雅彦
松下電器産業株式会社 先端技術研究所 ナノテクノロジー研究所
-
橋本 雅彦
松下電器産業
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