R面,A面,C面サファイア基板の誘電率測定とその基板を用いたYBCO薄膜の形成(マイクロ波超伝導/一般)
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概要
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サファイア基板は超伝導マイクロ波デバイスの基板として期待されているが,比誘電率の正確な値やその面内における誘電率の異方性,温度による変化等が明らかにされていない。そこで我々は,空洞共振器法を用いてr-,a-,c-Al_2O_3基板の比誘電率の精密な測定や面内の誘電率の異方性を検討した。また,その基板を用いてCeO_2バツファー層とYBCO薄膜の成長機構を検討した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-04-16
著者
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